LECTURA DE TESIS Título: "CMOS INTEGRATION OF AlN BASED PIEZOELECTRIC MICROCANTILEVERS" Candidato a Doctor: Ana Pérez Campos Director de Tesis: D. Gonzalo Fuentes Iriarte Lugar de celebración: Aula B223 del Edificio B de la ETSIT Fecha: 24 de Julio de 2015 Hora: 12:00