La caracterización de los materiales semiconductores ha jugado siempre un pa­pel fundamental en la investigación en microelectronica. Para el desarrollo de nuevos y mejores dispositivos, es crucial conocer las limitaciones en el material y los procesos, a fin de optimizarlos.

Dentro de las técnicas existentes en este ámbito destaca la Espectroscopia de Niveles Profundos (DLTS en sus siglas inglesas), objeto de este proyecto.

A lo largo del presente documento, se describirán primero la teoría sobre estos niveles profundos y su comportamiento, asi como las técnicas de medida y caracterización mas destacables. A continuación, se describe la técnica del DLTS en sí misma.

En una siguiente sección se describen las vertientes Hardware (equipos) del sistema, y Software, encargado del control, automatización y procesamiento de las medidas.

Un conjunto de medidas se han llevado a cabo sobre distintos dispositivos, a fin de dar validez al sistema, una vez éste ha sido terminado, comparando los resultados obtenidos con la literatura existente.

Es importante mencionar la gran limitación que ha supuesto para la real­ización del proyecto el ruido de origen electromagnético presente en la sala donde se sitúa el sistema de medida, tal y como se explicará de forma recurrente a lo largo de este documento.

Asimismo, los equipos empleados han demostrado tener ciertas limitaciones, que se podrían subsanar tal y como se menciona brevemente al final del último capítulo de esta memoria.

Keywords

Semiconductors, Deep Level, Spectroscopy, Capacitance, Transient, LabVIEW, Instrumentation, DLTS, Electronics